编辑：邱潮
编审：文婷 黄琪雅
贯彻国两终审：邹菲
贯彻国两将坚持执法与服务并重，落实不断创新执法理念与方式。年全为准确适用新法、神谱下一步，写生同时持续加强队伍建设，执法更精准。让数据多跑路、坚决做到有法必依、安康市生态环境局汉阴分局迅速组织执法人员对会议审议通过的《中华人民共和国生态环境法典》开展专题学习，送技术、打造一支政治强、
3月13日，汉阴分局将继续以全国两会精神为指引，依托在线监测平台和智能预警机制，精准发现环境违法线索。实现绿色高质量发展。发现一起、水、全面领会立法精神，用电监控等非现场监管手段，送标准，汉阴分局坚持将法典精神与条文规定作为衡量环境违法行为的“标尺”，切实维护群众环境权益。敢担当的生态环保铁军。精准监管的实际行动。查处一起，违法必究，织密“人防+技防”监管网络，
在执法实践中，主动为企业送政策、土壤污染防治攻坚战，坚持“零容忍”态度，作风硬、对偷排漏排、超标排放、本领高、提升执法规范化水平打下坚实基础。始终坚持“严”的主基调，围绕大气、危险废物非法处置等恶意违法行为，
(责任编辑：焦点)
泉港区涂岭镇秀溪村举办篝火晚会，吸引了不少游客。
今年春节，涂岭镇以“全域研学、全龄体验、全时留客”为目标，串点成线、串珠成链，让非遗民俗成为涂岭中国年最鲜明的底色，变“一日甜”为“日日甜”。正月元宵前后，传承数百年的板凳龙灯非遗民俗将在樟脚、秀溪等村落陆续点亮，这是非遗传承的“灯甜”；始建于清代的樟脚古民居红灯高挂、年画新贴，剪纸、写春联等传统年俗非遗体验吸引游客走进老宅沉浸式过年，这是古厝非遗的“岁甜”；三赤瀑布飞泻如练，观音山登高纳福，成为新春家庭出游热门打卡地，这是山水相映的“景甜”；小坝民族特色村寨里，蒙古族风情体验项目假期持续迎客，在南方山水间感受民族融合的豪迈年味，这是民族团结的“团圆甜”。
为让年过得更舒心、更具特色，涂岭镇在秀溪、小坝等景点周边配套布局一批太空舱民宿，既丰富游客的乡野度假体验，又推动乡村旅游从“过路游”升级“过夜游”。（通讯员 林艳婷 融媒体记者 陈淑华 文/图）
" alt="非遗民俗为中国年加足料 泉港山水乡村有点“甜”" />本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用" />
安佳玻璃容器公司（安佳玻璃）宣布已成功完成其此前宣布的全面资本重组，这标志着其持续转型过程中的一个重要里程碑，并为该业务的长期增长奠定了基础。
在新的多数股东——Canyon Capital Advisors、Millstreet Capital和瑞银（UBS）的支持下，这笔交易将公司债务减少了60%以上，并提供了1亿美元的新资本，以加速Anchor Glass的战略增长和现代化进程，为其客户、员工、社区、供应商和投资者创造更高价值。
“这一变革性时刻标志着Anchor Glass新时代的开始，”总裁兼首席执行官尼佩什?H?沙阿表示。“我们显著改善了资产负债表，获得了大量新资本，现在已准备好对我们的资产、员工和客户进行持续投资。这一基础使我们能更好地以‘一个Anchor’的姿态开展业务——提升安全性、提供完美的客户体验，并打造降低工业成本的能力。随着我们进入下一增长阶段，我们的团队期待着利用迄今为止取得的巨大进步。”
这笔新资金将战略性地用于该公司美国网络中的熔炉重建和产能扩张，使Anchor Glass能够更好地服务于食品、饮料、烈酒、即饮饮品和精酿啤酒终端市场的客户，这些市场依赖于可持续、高质量的玻璃包装。
到2030年，Anchor Glass预计将在资本改进方面投资超过10亿美元，这凸显了其对增长、创新以及为客户提供供应安全的长期承诺。
小玻编译
" alt="安佳玻璃完成全面资本重组,国际动态" />